Explore les produits MEMS à succès tels que les accéléromètres et leur processus de fabrication, ainsi que leur application dans les airbags de voiture et les smartphones.
Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.
Explore les bases de la salle blanche et les problèmes de contamination dans les processus de microfabrication, en mettant l'accent sur l'impact des contaminants sur les performances et la fiabilité des appareils.
Couvre les méthodes permettant d'atteindre une grande pureté de l'air dans les environnements de salles blanches pour les processus de microfabrication.
Explore divers processus de dépôt chimique en phase vapeur, notamment APCVD, SACVD, LPCVD, UHV / CVD, PECVD et MOCVD, en se concentrant sur la croissance du film et les effets plasmatiques.
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
