Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Explore les principes et les applications de la technologie Focused Ion Beam (FIB), y compris les interactions ion-solide, l'imagerie, le broyage et le dépôt.
Examine les interactions ion-cible dans les processus de pulvérisation de PVD, couvrant le dépôt composé, les dommages de surface et les facteurs influençant les taux d'éjection des cibles.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Plonge dans les techniques de fabrication de cristaux photoniques, inspirés par des structures naturelles comme les ailes de papillon et les pierres opales.
Couvre la gravure humide des couches sacrificielles en micro et nanofabrication, y compris les défis et les solutions pour la déformation de la microstructure et le diagnostic de stress.
Explore les techniques de gravure sèche dans le traitement des semi-conducteurs, des réacteurs à baril aux sources de plasma modernes comme ICP et ECR.
