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Publications associées (1)

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Fabrication of clamped-clamped beam resonators with embedded fluidic nanochannel

Philippe Renaud, Stefano Silvio Giovanni Varricchio, Luis Guillermo Villanueva Torrijo, Stefano Stassi, Damien Maillard, Annalisa De Pastina, Davide Scaiola, Carlo Ricciardi

Suspended nanochannel resonators (SNRs) are promising devices able to characterize mass down to the attogram scale, thus being able to detect nanoparticles or biomolecules. In this paper, we present a flexible fabrication process for SNRs based on a sacrif ...

ELSEVIER2020

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Fabrication of clamped-clamped beam resonators with embedded fluidic nanochannel

Philippe Renaud, Stefano Silvio Giovanni Varricchio, Luis Guillermo Villanueva Torrijo, Stefano Stassi, Damien Maillard, Annalisa De Pastina, Davide Scaiola, Carlo Ricciardi

ELSEVIER2020