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Nachiappan Chidambaram

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Publications associées (7)

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Converse mode piezoelectric coefficient for lead zirconate titanate thin film with interdigitated electrode

Paul Muralt, Silviu Cosmin Sandu, Nachiappan Chidambaram, Ramin Matloub Aghdam, Andrea Mazzalai, Robin Nigon, Davide Balma

The use of interdigitated electrodes (IDEs) in conjunction with ferroelectric thin films shows many attractive features for piezoelectric MEMS applications. In this work, growth of {1 0 0}-textured lead zirconate titanate (PZT) thin films was achieved on i ...

Institute of Physics2015

Characterization and Fatigue of the Converse Piezoelectric Effect in PZT Films for MEMS Applications

Paul Muralt, Nachiappan Chidambaram, Ramin Matloub Aghdam, Andrea Mazzalai, Davide Balma

A measurement setup for the detailed study of the transverse piezoelectric coefficient e(31,f) in the converse (actuator) mode was developed. It allows the assessment of the piezoelectric stress in thin films on silicon cantilevers and provides for a corre ...

Institute of Electrical and Electronics Engineers2015

High Piezoelectric Longitudinal Coefficients in Sol-gel PZT Thin Film Multilayers

Paul Muralt, Silviu Cosmin Sandu, Alex Dommann, Nachiappan Chidambaram, Andrea Mazzalai, Antonia Neels, Davide Balma

A five-layer stack of lead zirconate titanate (PZT) thin films with Pt electrodes was fabricated for potential applications in nanoactuator systems. The 1 mu m thick PZT films were deposited by a sol-gel technique, the platinum electrodes by sputtering. Th ...

Wiley-Blackwell2014