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Publications associées (2)

Veuillez noter qu'il ne s'agit pas d'une liste complète des publications de cette personne. Elle inclut uniquement les travaux sémantiquement pertinents. Pour une liste complète, veuillez consulter Infoscience.

Resonant PZT MEMS Scanner for High-Resolution Displays

Paul Muralt, Sven Holmström, Davide Balma

A resonant piezoelectric scanner is developed for high-resolution laser-scanning displays. A novel actuation scheme combines the principle of mechanical amplification with lead zirconate titanate (PZT) thin-film actuation. Sinusoidal actuation with 24 V at ...

Institute of Electrical and Electronics Engineers2012

Two-Dimensional MEMS Stage Integrated With Microlens Arrays for Laser Beam Steering

Cyrille Hibert, Sertan Kutal Gökce, Sven Holmström, David Bowman

A novel microelectromechanical stage with one uniaxial set of combs capable of 2-D actuation is presented. A polymer microlens array (MLA) is mounted vertically onto the stage. Driven at resonance, the stage deflects 124 mu m out of plane and 34 mu m in pl ...

Institute of Electrical and Electronics Engineers2011