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Izzet Yildiz

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Publications associées (2)

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Monolithic integration of Si nanowires with metallic electrodes: NEMS resonator and switch applications

Yusuf Leblebici, Davide Sacchetto, Izzet Yildiz

The challenge of wafer-scale integration of silicon nanowires into microsystems is addressed by developing a fabrication approach that utilizes a combination of Bosch-process-based nanowire fabrication with surface micromachining and chemical-mechanical-po ...

Institute of Physics2011

Monolithic Integration of Silicon Nanowires With a Microgripper

Yusuf Leblebici, Michail Zervas, Özgür Özsun, Izzet Yildiz, Mustafa Yilmaz

Si nanowire (NW) stacks are fabricated by utilizing the scalloping effect of inductively coupled plasma deep reactive ion etching. When two etch windows are brought close enough, scallops from both sides will ideally meet along the dividing centerline of t ...

Institute of Electrical and Electronics Engineers2009