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Mohammad Fazel Parsapour Kolour

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Publications associées (11)

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Impact of negative bias on the piezoelectric properties through the incidence of abnormal oriented grains in Al0.62Sc0.38N thin films

Paul Muralt, Thomas La Grange, Silviu Cosmin Sandu, Mohammad Fazel Parsapour Kolour, Xiao Di, Robin Nigon, Lukas Riemer

Sputter deposited A1ScN films with an Sc content of 38 at % were investigated by X-ray diffraction and electron microscopy to study the influence of the radio frequency (RF) bias on the growth of abnormally oriented grains (AOG). Scanning electron microsco ...

2020

Abnormal Grain Growth in AlScN Thin Films Induced by Complexion Formation at Crystallite Interfaces

Paul Muralt, Thomas La Grange, Silviu Cosmin Sandu, Stefan Mertin, Ramin Matloub Aghdam, Mohammad Fazel Parsapour Kolour, Vladimir Pashchenko

Sputter deposited Al(1-x)ScxN thin films with a Sc content from x = 0 to 43 at% are investigated by electron microscopy in order to study and explain the formation and growth of abnormally oriented grains (AOG). It is found that the latter did not nucleate ...

Wiley-VCH Verlag2019

Growth, Integration, and Functional Characterization of AlScN Thin Films for RF MEMS Devices

Mohammad Fazel Parsapour Kolour

Mobile communication has grown explosively in recent years, leading to a strong demand for cheap, but high-performing bandpass filters with low insertion loss and smaller size. Surface acoustic wave (SAW) and thin film bulk acoustic wave (BAW) resonators r ...

EPFL2019