Publication

Scaling of Trigate Junctionless Nanowire MOSFET With Gate Length Down to 13 nm

Matthieu Berthomé
2012
Journal Articles

Résumé

In this letter, we report the performance of high-kappa/metal gate nanowire (NW) transistors without junctions fabricated with a channel thickness of 9 nm and sub-15-nm gate length and NW width. Near-ideal subthreshold slope (SS) and extremely low leakage currents are demonstrated for ultrascaled gate lengths with a high on-off ratio (I-on/I-off) > 10(6). For the first time, an SS lower than 70 mV/dec is achieved at L-G = 13 nm for n-type and p-type transistors, highlighting excellent electrostatic integrity of trigate junctionless NW MOSFETs.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/4526b772-24fb-4e50-90ec-677eb2a358d5

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Concepts associés (17)

Transistor count

The transistor count is the number of transistors in an electronic device (typically on a single substrate or "chip"). It is the most common measure of integrated circuit complexity (although the majority of transistors in modern microprocessors are contained in the cache memories, which consist mostly of the same memory cell circuits replicated many times). The rate at which MOS transistor counts have increased generally follows Moore's law, which observed that the transistor count doubles approximately every two years.

Transistor

vignette|Quelques modèles de transistors. Le transistor est un composant électronique à semi-conducteur permettant de contrôler ou d'amplifier des tensions et des courants électriques. C'est le composant actif le plus important des circuits électroniques aussi bien en basse qu'en haute tension : circuits logiques (il permet, assemblé avec d'autres, d'effectuer des opérations logiques pour des programmes informatiques), amplificateur, stabilisateur de tension, modulation de signal Les transistors revêtent une importance particulière dans les circuits intégrés, ce qui rend possible la microélectronique.

Transistor à effet de champ à grille métal-oxyde

thumb|right|235px|Photographie représentant deux MOSFET et une allumette Un transistor à effet de champ à grille isolée plus couramment nommé MOSFET (acronyme anglais de metal-oxide-semiconductor field-effect transistor — qui se traduit par transistor à effet de champ à structure métal-oxyde-semiconducteur), est un type de transistor à effet de champ. Comme tous les transistors, le MOSFET module le courant qui le traverse à l'aide d'un signal appliqué sur son électrode nommée grille.

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