Publication

Crystal Phase Tuning in Planar Films of III-V Semiconductors

Anna Fontcuberta i Morral, Kirsten Emilie Moselund, Nicolas Tappy
2019
Conference Papers

Résumé

We report on the control of the crystal phase of micron-sized planar III-V semiconductor films grown on top of standard (001) oriented substrates. We achieve this by confining the MOCVD process using SiO2 templates and selecting specific growth planes. We further characterize InP films using STEM, PL and CL and find phase purities of 100% and 97% for zinc-blende (ZB) and wurtzite (WZ), respectively.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/48961215-c0ef-4cbc-b21d-63f5606003cb

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Anna Fontcuberta i Morral, Kirsten Emilie Moselund, Nicolas Tappy
2019
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Concepts associés (25)

Fabrication des dispositifs à semi-conducteurs

thumb|upright=1.5|Évolution de la finesse de gravure des processeurs entre 1970 et 2017 La fabrication des dispositifs à semi-conducteur englobe les différentes opérations permettant l'élaboration de composants électroniques basés sur des matériaux semi-conducteurs. Entrent dans cette catégorie de composants à semi-conducteur, les composants discrets qui n'ont qu'une seule fonction comme les diodes et les transistors, et les circuits intégrés plus complexes, intégrant plusieurs composants, jusqu'à des milliards, dans le même boîtier.

Semi-conducteur

Un semi-conducteur est un matériau qui a les caractéristiques électriques d'un isolant, mais pour lequel la probabilité qu'un électron puisse contribuer à un courant électrique, quoique faible, est suffisamment importante. En d'autres termes, la conductivité électrique d'un semi-conducteur est intermédiaire entre celle des métaux et celle des isolants. Le comportement électrique des semi-conducteurs est généralement modélisé, en physique de l'état solide, à l'aide de la théorie des bandes d'énergie.

Dopage (semi-conducteur)

Dans le domaine des semi-conducteurs, le dopage est l'action d'ajouter des impuretés en petites quantités à une substance pure afin de modifier ses propriétés de conductivité. Les propriétés des semi-conducteurs sont en grande partie régies par la quantité de porteurs de charge qu'ils contiennent. Ces porteurs sont les électrons ou les trous. Le dopage d'un matériau consiste à introduire, dans sa matrice, des atomes d'un autre matériau. Ces atomes vont se substituer à certains atomes initiaux et ainsi introduire davantage d'électrons ou de trous.

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