Séances du ME-426: Micro/Nanomechanical devices

Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication

Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.

Sans titre

Transmission de la motion

Explore la transduction dans N/MEMS, couvrant les méthodes basées sur la force et la déformation.

Sans titre

Transduction de mouvement : Levier optique et détection d'interféromètre

Explore les méthodes de détection de levier optique et d'interféromètre pour la transduction de mouvement dans les dispositifs à microéchelle.

Détection de force : bases et structures

Couvre les bases de la détection des forces, les structures et les modèles mathématiques pour détecter efficacement les forces.

Détection de force : effets non linéaires et faisceaux composites

Explore la détection de force dans les poutres, y compris les effets non linéaires, la tension intégrée et les poutres composites.

Détection des contraintes de surface : Structures multicouches

Explore la détection des contraintes de surface dans les structures multicouches et les constantes élastiques dans les structures monocouches.

Résonateurs : comprendre la réponse en fréquence et les valeurs propres

Couvre les résonateurs, le problème de la valeur propre pour les résonateurs en flexion et l'importance de la normalisation.

Résonateurs: problème de valeur propre et solutions en mode unique

Explore l'équation de mouvement des résonateurs, l'effet de contrainte sur la fréquence et les solutions monomodes.

Résonateurs : couplage et non-linéarité

Explore le couplage du résonateur, les valeurs propres et les origines de non-linéarité, y compris les effets de tension intégrés.

Entraînement paramétrique : Résonateurs

Explore l'entraînement paramétrique dans les résonateurs et l'influence des effets de surface sur les couches minces.

Facteur de qualité dans les résonateurs

Explore le concept de facteur de qualité dans les résonateurs, en discutant de son efficacité et de son interaction avec l'environnement extérieur.

Bruit et mesures

Explore le bruit électronique, thermomécanique et amplificateur, l'étalonnage de l'amplitude, le suivi de fréquence et les limites du système.