Séances du MICRO-621: MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)

Inspection et métrologie : Microscopie électronique

Explore les principes et les applications de la microscopie électronique à balayage en micro et nanofabrication, couvrant les signaux électroniques, les problèmes de charge et les mesures dimensionnelles.

Techniques de microfabrication : inspection et métrologie

Explore les techniques de microfabrication pour l'inspection et la métrologie dans les applications MEMS.

Inspection et métrologie : caractérisation électrique des couches minces

Explore l'évaluation de la qualité et de la résistance des films minces à l'aide de techniques de métrologie.

Micro et nanofabrication: bases et techniques

Couvre les bases des techniques de micro et nano fabrication pour les dispositifs MEMS.