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Publications associées (13)

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Application of graphite-based sacrificial layers for fabrication of LTCC (low temperature co-fired ceramic) membranes and micro-channels

Thomas Maeder, Peter Ryser, Hansu Birol

Fabrication of sensors and micro-fluidic structures from low temperature co- fired ceramic (LTCC) sheets is a growing interest in the micro-packaging community. Such devices usually have inner cavities, whose production is quite complicated. The most elega ...

Institute of Physics2007

Fabrication of a Millinewton Force Sensor Using Low Temperature Co-fired Ceramic (LTCC) Technology

Thomas Maeder, Peter Ryser, Hansu Birol, Ingo Nadzeyka

This study is aimed at outlining the fabrication of a novel piezoresistive force sensor using LTCC technology, which operates at millinewton range, yet is compatible with low cost thick-film fabrication process. Mechanical and electrical characterization o ...

Elsevier2007

Fabrication of low temperature co-fired ceramic (LTCC)-based sensor and micro-fluidic structures

Low temperature co-fired ceramic (LTCC) technology has attracted remarkable attention in fabrication of sensors and micro-fluidic devices in the last decade. Although structuring planar LTCC foils, which are processed and screen-printed with thick-films, s ...

EPFL2007