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Publications associées (2)

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Effective SAW excitation on non-piezoelectric substrate using AlScN piezoelectric thin film BAW/SAW hybrid transducer

Paul Muralt, Sylvain Ballandras, Mohammad Fazel Parsapour Kolour, Vladimir Pashchenko

Acoustic delay lines based on Al0.85Sc0.15N thin film hybrid transducers were investigated by finite element modeling. It was found that an acoustic impedance matching between transducer and non-piezoelectric substrate material plays a crucial role to effi ...

Ieee2017

Hybrid BAW/SAW AlN and AlScN Thin Film Resonator First Experimental data

Paul Muralt, Sylvain Ballandras, Ramin Matloub Aghdam, Vladimir Pashchenko

A novel type of hybrid resonator based on BAW transformation into SAW in a ridged layered structure was fabricated and characterized. Bulk waves are excited by micromachined piezoelectric AlScN pillars located on the non-piezoelectric Si and sapphire subst ...

Ieee2016