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Oscar Vazquez Mena

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Publications associées (44)

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Resistless nanofabrication by stencil lithography: A review

Jürgen Brugger, Oscar Vazquez Mena, Luis Guillermo Villanueva Torrijo

We present a review on stencil lithography and focus on the particular interest and challenges when applying it to the scalable fabrication of nm-size devices. We first describe the basic technique with its main advantages and challenges. Then we review th ...

Elsevier2015

Stencil-Nanopatterned Back Reflectors for Thin-Film Amorphous Silicon n-i-p Solar Cells

Christophe Ballif, Céline Pahud, Jürgen Brugger, Oscar Vazquez Mena, Andreea Veronica Savu, Mona Julia Katharina Klein, Franz-Josef Haug

We fabricated amorphous silicon n-i-p solar cells with two types of nanopatterned back reflectors using stencil lithography. One reflector type has a plasmonic grating that is embedded in the ZnO layer; the other one has a metallic grating patterned on top ...

Ieee-Inst Electrical Electronics Engineers Inc2013

Resistless Fabrication of Nanoimprint Lithography (NIL) Stamps Using Nano-Stencil Lithography

Jürgen Brugger, Oscar Vazquez Mena, Katrin Sidler Arnet, Andreea Veronica Savu, Luis Guillermo Villanueva Torrijo, Cristina Martin Olmos

In order to keep up with the advances in nano-fabrication, alternative, cost-efficient lithography techniques need to be implemented. Two of the most promising are nanoimprint lithography (NIL) and stencil lithography. We explore here the possibility of fa ...

MDPI2013