Marcel Groccia

Source officielle

https://people.epfl.ch/marcel.groccia?lang=fr

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

À propos
Confidentialité
Mentions légales

Graph Chatbot

Source officielle

https://people.epfl.ch/marcel.groccia?lang=fr

À propos de ce résultat

Publications associées (1)

Veuillez noter qu'il ne s'agit pas d'une liste complète des publications de cette personne. Elle inclut uniquement les travaux sémantiquement pertinents. Pour une liste complète, veuillez consulter Infoscience.

High power modular LED-based illumination system for lithography applications

Hans Peter Herzig, Wilfried Noell, Marcel Groccia, Toralf Scharf, Johana Bernasconi, Raoul Kirner

Mask-aligner lithography is a technology used to transfer patterns with critical dimensions in the micrometer range from below 1 micron for contact printing to a dozen of microns in proximity printing. This technology is widely used in the fabrication of M ...

2018

Publications associées (1)

High power modular LED-based illumination system for lithography applications

Hans Peter Herzig, Wilfried Noell, Marcel Groccia, Toralf Scharf, Johana Bernasconi, Raoul Kirner

2018