Publication

Effect of filler behavior on nanocomposite SU8 photoresist for moving micro- parts

Philippe Renaud, Arnaud Bertsch, Stefano Mischler, Sébastien Jiguet
2006
Journal Articles

Résumé

The use of low-stress SU8 nanocomposites as a functional material for micro- parts and coating applications is described in this paper. It was found that the nanoparticles lower the internal stress and decrease the wear rate and frictional coefficient of the SU8 epoxy. The applicability of this technology is demonstrated on gear wheels configuration and coating multilayer capping technology on moving micro-parts

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/entities/publication/ab4b806d-06d8-4d27-a960-7af63bcdb7f7

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Concepts associés (32)

Nanoparticule

Une nanoparticule est selon la norme ISO TS/27687 un nano-objet dont les trois dimensions sont à l'échelle nanométrique, c'est-à-dire une particule dont le diamètre nominal est inférieur à environ. D'autres définitions évoquent un assemblage d'atomes dont au moins une des dimensions se situe à l'échelle nanométrique (ce qui correspond au « nano-objet » tel que défini par la norme ISO précitée) ou insistent sur leurs propriétés nouvelles (dues au confinement quantique et à leur surface spécifique) qui n'apparaissent que pour des tailles de moins d'une centaine de nanomètres.

Engrenage

thumb|Un engrenage hélicoïdal à contact extérieur en action Un engrenage est un système mécanique composé de deux solides reliés par des dentures. Le cas particulier le plus courant étant deux roues dentées, servant : soit à la transmission du mouvement de rotation entre elles ; soit à la propulsion d'un fluide (on parle alors de pompe à engrenages). Dans le cas de la transmission de mouvement, les deux roues dentées sont en contact l’une avec l’autre et se transmettent de la puissance par obstacle.

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

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