Passer au contenu principal

Recherche

Afficher tous les résultats pour

Accueil

Personne

Berke Erbas

À propos
Confidentialité
Mentions légales

Copyright © 2026 EPFL, tous droits réservés

Graph Chatbot

Source officielle

https://people.epfl.ch/berke.erbas?lang=fr

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Publications associées (5)

Veuillez noter qu'il ne s'agit pas d'une liste complète des publications de cette personne. Elle inclut uniquement les travaux sémantiquement pertinents. Pour une liste complète, veuillez consulter Infoscience.

Combination of Thermal Scanning Probe Lithography and Directed Self-Assembly of Block Copolymers

Arnaud Bertsch, Jürgen Brugger, Berke Erbas

The fabrication of semiconductor quantum devices necessitates sub-20 nm features and high-density patterning, often exceeding the capabilities of current state-of-the-art lithographic techniques. To address this challenge, in this work, the combination of ...

SPIE2025

Beyond the Mask: Advancing Fabrication and Immersive Learning

Arnaud Bertsch, Jürgen Brugger, Berke Erbas, Jongeon Park, Chenxiang Zhang

This paper presents advances in micro and nanofabrication techniques beyond conventional lithographic masks with examples of inkj et printing, nanostencil lithography, molecular-level doping methods, and thermal scanning probe lithography. These methods en ...

IEEE2025

Grayscale nanopatterning for strain-engineered 2D materials

Semiconductor innovation is shifting from traditional dimensional scaling toward novel architectures and materials as lithography nears its physical limits. FinFETs and GAAFETs have marked key milestones, with scaling now progressing through 3D stacking. M ...

EPFL2025

Unités associées (1)

Laboratoire de microsystèmes 1

EPFL
STI
IEM
LMIS1